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EUV光刻技术的推进相当困难,光刻机龙头ASML也是举步维艰,一点点改进。快科技9月7日消息,ASML宣布,将在今年底发货第一台支持高NA(数值孔径)的EUV极紫外光刻机,型号“Twinscan EXE:5000”。 ... [ 查看全文 ]
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